[发明专利]柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统

摘要

一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法及系统。该方法包括：在FCCVD装置的炉管低温区置入卷成筒形的可挠式薄片；向FCCVD装置内输入原料进行碳纳米管合成反应，同时匀速转动炉管，使生成的碳纳米管均匀沉积在可挠式薄片内壁上形成连续的碳纳米管薄膜；利用卷对卷方式将碳纳米管薄膜转移至柔性衬底上获得目标产物；该系统包括：用以合成碳纳米管的FCCVD装置；被卷成筒形后置于FCCVD装置的炉管内的可挠式薄片，用于沉积形成连续均匀的碳纳米管薄膜；以及碳纳米管薄膜转移装置。本发明工艺简单，易于实施，高效且成本低廉，易实现大规模生产，且无需对碳纳米管进行分散处理，不会损伤碳纳米管，因此获得的透明导电薄膜有更好的电学性能，具有更重要的实用价值。

主权项

一种柔性碳纳米管透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在FCCVD装置的炉管内置入卷成筒形的可挠式薄片；向FCCVD装置内输入用于制备碳纳米管的原料，在设定条件下进行碳纳米管合成反应，同时以设定转速转动炉管，使生成的碳纳米管均匀沉积在可挠式薄片的内壁上，形成连续的碳纳米管薄膜；利用卷对卷方式将碳纳米管薄膜从可挠式薄片表面转移至柔性衬底上，形成柔性碳纳米管透明导电薄膜。