[发明专利]MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备有效
| 申请号： | 201210581740.X | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103063879A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;石云波;丑修建;郭涛;薛彦辉 | 申请（专利权）人： | 苏州中盛纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS加速度传感器的标定校准技术，具体是一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备。本发明解决了现有标定校准设备存在标定校准耗时长、标定校准效率低、标定校准能力有限、以及无法实现批量化自动标定校准的问题。MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备，包括可变环境装置、批量化标定测试平台、自动装卡平台、多通道数据采集系统、可变环境控制系统、装卡控制系统、以及主控制系统；批量化标定测试平台、自动装卡平台、可变环境控制系统均安装于可变环境装置内；多通道数据采集系统的信号输出端与主控制系统的信号输入端连接。本发明适用于MEMS加速度传感器的标定校准。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度 传感器 参数 批量 测试 设备 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速度传感器的多参数批量测试设备，其特征在于：包括可变环境装置、批量化标定测试平台、自动装卡平台、多通道数据采集系统、可变环境控制系统、装卡控制系统、以及主控制系统；批量化标定测试平台、自动装卡平台、可变环境控制系统均安装于可变环境装置内；多通道数据采集系统的信号输出端与主控制系统的信号输入端连接；可变环境装置的信号传输端通过可变环境控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台的信号传输端通过装卡控制系统与主控制系统的信号传输端连接；自动装卡平台与批量化标定测试平台配合连接。
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