[发明专利]一种凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法

摘要

本发明介绍了一种凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法，水占粉体的11.1%~16.3%，SP8占0.15%~0.45%，3000-5000分子量的聚乙二醇占0.13~0.40%，甲基丙烯酰胺占1.55%~4.5%，N,N-亚甲基双丙烯酰胺占0.05%~0.33%；用氨水调节溶液pH值至9~10.5，制得预混液；将ITO粉体与预混液球磨得到固含量高达86~90%的浆料；浆料中加入占粉体0.06‰~0.5‰的过氧化物引发剂和0.01‰~0.2‰有机胺催化剂，待混合均匀后，浇注于模具中并于50~70℃条件下干燥2~5h完成固化成型，经脱模即得到高密度ITO靶材坯体。制备方法成型后的ITO坯体用阿基米德法测量，密度达4.31~4.68g/cm3，理论密度按7.15g/cm3计算，相对密度60.3~65.5%。

主权项

一种凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法，其特征是：将纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.1~2μm的ITO粉体通过在水溶剂中加入添加剂，同时调节pH值，再通过控制球磨工艺制备成ITO浆料，最后凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体，具体过程为：分散剂A占0.15%~0.45%，分散剂B占0.13~0.40%，单体占1.55%~4.5%，交联剂占0.05%~0.33%；用氨水调节溶液pH值至9~10.5，制得预混液；在配置预混液的过程中始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中各添加剂混合均匀；（2）高固含量、低粘度浆料的球磨工艺：将纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.1~2μm的ITO粉体，与步骤（1）配置的预混液一同进行行星球磨，制备出固相含量高达86~90%的浆料；球磨后的ITO浆料固含量高达86~90%，转速20s‑1下的室温粘度值为125~380mPa·s；球磨后，再于浆料中加入占粉体0.06‰~0.5‰的引发剂和0.01‰~0.2‰催化剂，待混合均匀后，即得用于凝胶注模成型ITO靶材的ITO浆料；（3）高密度ITO靶材坯体制备：ITO浆料浇注于模具中并于50~70℃条件下干燥2~5h完成固化成型，经脱模即得到高密度ITO靶材坯体；所述的含量比例，均为质量含量；所述的分散剂A为SP8；所述的分散剂B是3000‑5000分子量的聚乙二醇；所述的单体是甲基丙烯酰胺；所述的交联剂为N,N‑亚甲基双丙烯酰胺；所述的催化剂是有机胺催化剂；所述的引发剂是过氧化物引发剂。