[发明专利]一种凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法

权利要求书

1.一种凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法，其特征是：将纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.1~2μm的ITO粉体通过在水溶剂中加入添加剂，同时调节pH值，再通过控制球磨工艺制备成ITO浆料，最后凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体，具体过程为：

分散剂A占0.15%~0.45%，分散剂B占0.13~0.40%，单体占1.55%~4.5%，交联剂占0.05%~0.33%；用氨水调节溶液pH值至9~10.5，制得预混液；在配置预混液的过程中始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中各添加剂混合均匀；

（2）高固含量、低粘度浆料的球磨工艺：

将纯度大于99.99%、平均粒径范围为0.1~2μm的ITO粉体，与步骤（1）配置的预混液一同进行行星球磨，制备出固相含量高达86~90%的浆料；球磨后的ITO浆料固含量高达86~90%，转速20s^-1下的室温粘度值为125~380mPa·s；球磨后，再于浆料中加入占粉体0.06‰~0.5‰的引发剂和0.01‰~0.2‰催化剂，待混合均匀后，即得用于凝胶注模成型ITO靶材的ITO浆料；

（3）高密度ITO靶材坯体制备：

ITO浆料浇注于模具中并于50~70℃条件下干燥2~5h完成固化成型，经脱模即得到高密度ITO靶材坯体；

所述的含量比例，均为质量含量；

所述的分散剂A为SP8；所述的分散剂B是3000-5000分子量的聚乙二醇；所述的单体是甲基丙烯酰胺；所述的交联剂为N,N-亚甲基双丙烯酰胺；所述的催化剂是有机胺催化剂；所述的引发剂是过氧化物引发剂。

2.根据权利要求1所述凝胶注模成型高密度ITO靶材坯体的方法，其特征是：行星球磨采用20L球磨罐，所选用的球磨罐材质为玛瑙、尼龙或聚氨酯，球磨介质选为玛瑙球、氧化锆球或聚氨酯球；所选用的磨球直径为5~10mm，质量料球比范围为1.5:1~2:1；采用的球磨转速为100~150r/min，球磨时间为20~40h。

3.根据权利要求1所述凝胶注模成型高密度ITO靶材的方法，其特征是：凝胶注模成型后坯体的干燥、脱脂条件为：150~250℃干燥、580~900℃脱脂。

4.根据权利要求1所述凝胶注模成型高密度ITO靶材的方法，其特征是：所述的分散剂B为PEG4000。

5.根据权利要求1所述凝胶注模成型高密度ITO靶材的方法，其特征是：所述的引发剂为过硫酸铵。

6.根据权利要求1所述凝胶注模成型高密度ITO靶材的方法，其特征是：所述的催化剂为四甲基乙二胺。