[发明专利]化学机械研磨速率控制方法在审
| 申请号： | 201210577038.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN102975110A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李儒兴;李志国;程君;陶仁峰;胡海天 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种化学机械研磨速率控制方法，其中，在将研磨速率从第一研磨速率调整为第二研磨速率时，不改变研磨垫的旋转速度，并且不改变对晶圆施加的压力，而是将研磨头的摆动的动作从第一运动状态调整为另一运动状态。在将研磨速率从第二研磨速率调整为第一研磨速率时，同样不改变研磨垫的旋转速度，并且不改变对晶圆施加的压力，而是将研磨头的摆动的动作从第二运动状态调整为第一运动状态。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 速率 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨速率控制方法，其特征在于包括：在将研磨速率从第一研磨速率调整为第二研磨速率时，不改变研磨垫的旋转速度，并且不改变对晶圆施加的压力，而是将研磨头的摆动的动作从第一运动状态调整为另一运动状态。
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