[发明专利]一种用于等离子反应器的气体喷淋头有效
| 申请号： | 201210575314.5 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103903946B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 徐朝阳;倪图强;黄智林;李菁 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于等离子反应器的气体喷淋头，该气体喷淋头包括上下两层的气体分布板，气体分布板上开设有位置对应的多个气孔。气孔之间互相隔离成不同区域向等离子反应器不同区域供应反应气体的。其中不同分区之间有一个隔离环分隔所述第一组气孔和第二组气孔，所述隔离环包括一个隔离槽和位于隔离槽中的隔离垫圈，隔离垫圈在所述紧固装置使所述上层气体分布板和下层气体分布板紧贴后的压缩高度小于等于5%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子 反应器 气体 喷淋 | ||
【主权项】：
一种用于等离子反应器的气体喷淋头，包括：一个气体分流装置包括第一出口和第二出口，一个上层气体分布板上包括第一组气孔与所述第一出口连通，第二组气孔与所述第二出口连通，一个下层气体分布板包括分别与所述上层气体分布板第一组气孔和第二组气孔位置对应的多个气孔，一个紧固装置使上层气体分布板和下层气体分布板相互紧贴固定，一个隔离环位于所述上层和下层气体分布板之间以分隔所述第一组气孔和第二组气孔，所述隔离环包括一个隔离槽和位于隔离槽中的隔离垫圈，其特征在于，所述隔离垫圈在所述紧固装置使所述上层气体分布板和下层气体分布板紧贴后的压缩高度小于等于5％，所述上层气体分布板上的气孔口径大于所述下层气体分布板上的气孔口径。
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