[发明专利]显示面板的阵列基板及其制作方法

摘要

一种制作显示面板的阵列基板的方法，包含以下步骤。提供基板，基板上形成薄膜晶体管与连接电极。于基板上形成第一保护层与平坦层，平坦层具有第一开口与第二开口，对应薄膜晶体管的漏极电极与连接电极。形成共通电极、第二保护层与光阻图案层，光阻图案层暴露第一开口内与第二开口内以及对应共通电极的第二保护层。蚀刻光阻图案层暴露的第二保护层，形成第三开口、第四开口与第五开口，蚀刻第三开口与第四开口暴露的第一保护层形成第六开口与第七开口，暴露漏极电极与连接电极。移除光阻图案层，于第二保护层上形成桥接电极与像素电极。

主权项

一种制作显示面板的阵列基板的方法，其特征在于，包括：提供一基板，该基板具有一像素区与一周边区，该基板的该像素区内形成有至少一薄膜晶体管，且该薄膜晶体管包含一栅极电极、一源极电极与一漏极电极，该基板的该周边区内形成有至少一连接电极；于该基板上依序形成一第一保护层与一平坦层，该第一保护层覆盖该薄膜晶体管与该连接电极，该平坦层覆盖该第一保护层，该平坦层具有一第一开口与一第二开口，该第一开口对应于该漏极电极并暴露出该漏极电极上的部分该第一保护层，该第二开口对应于该连接电极并暴露出该连接电极上的部分该第一保护层；于该平坦层上形成一第一图案化透明导电层，其中该第一图案化透明导电层包括一共通电极；于该第一图案化透明导电层与该平坦层上形成一第二保护层；于该第二保护层上形成一光阻图案层，该光阻图案层暴露出该第一开口内与该第二开口内的部分该第二保护层，以及暴露出对应于该第一图案化透明导电层的部分该第二保护层；蚀刻该光阻图案层所暴露出的该第二保护层，以于该第二保护层内形成一第三开口、一第四开口与一第五开口，该第三开口暴露该第一开口内的部分该第一保护层、该第四开口暴露出第二开口内的部分该第一保护层，该第五开口暴露出部分该共通电极；蚀刻该第三开口与第四开口所暴露出的该第一保护层，以于该第一保护层中形成一第六开口与一第七开口，该第六开口暴露出部分该漏极电极，且该第七开口暴露出部分该连接电极；移除该光阻图案层；以及于该第二保护层上形成一第二图案化透明导电层，该第二图案化透明导电层包含一桥接电极位于该基板的该周边区内，以及一像素电极位于该基板的该像素区内，该桥接电极经由该第五开口与该第七开口电性连接该共通电极与该连接电极，该像素电极经由该第六开口电性连接该漏极电极，且该像素电极与该桥接电极电性分离。