[发明专利]无方向性抖动方法有效
| 申请号： | 201210563050.1 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103293871A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘沛怡;林世杰;王文娟;许照荣;林本坚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 描述了一种光刻工艺中的数据准备的方法。该方法包括在图形数据库系统GDS网格中提供集成电路(IC)布局设计，将IC布局设计GDS网格转换成第一曝光网格，对第一曝光网格应用无方向性抖动技术，在对第一曝光网格应用抖动的同时，对第一曝光网格应用网格移位，以生成网格移位曝光网格，并且对网格移位曝光网格应用抖动，并且将第一曝光网格(在接受抖动之后)与网格移位曝光网格(在接受抖动之后)相加，以生成第二曝光网格。本发明还提供了一种无方向性抖动方法。 | ||
| 搜索关键词： | 无方 向性 抖动 方法 | ||
【主权项】：
一种用在光刻工艺中的方法，包括：在图形数据库系统(GDS)网格中提供集成电路(IC)布局设计；将所述IC布局设计GDS网格转换成第一曝光网格；对所述第一曝光网格应用无方向性抖动技术；在对所述第一曝光网格应用抖动的同时，对所述第一曝光网格应用网格移位，以生成网格移位曝光网格；对所述网格移位曝光网格应用无方向性抖动；以及将接受抖动之后的所述第一曝光网格与接受抖动之后的所述网格移位曝光网格相加，以生成第二曝光网格。
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