[发明专利]缺陷分类法则建立方法、缺陷分类与致命缺陷判断方法有效
| 申请号： | 201210560801.4 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103185730A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 吕一云 | 申请（专利权）人： | 敖翔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷分类法则建立方法、缺陷分类与致命缺陷判断方法，该缺陷分类法则建立方法，步骤描述如下。将作为例子的具有致命缺陷的多个缺陷分类图像和所有缺陷、图形和背景工艺材料信息输入至制造工具。制造工具取得每一输入图像的缺陷、图形与背景的图像特征、工艺特征与图像关联性(relativity)特征，其中输入的图像包含作为例子的具有致命缺陷的多个缺陷分类图像。根据每一输入图像的缺陷、图形与背景的图像特征、工艺特征与图像关联性特征建立缺陷分类法则。本发明可以把制造效率与产量提高数倍。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 分类 法则 建立 方法 致命 判断 | ||
【主权项】：
一种缺陷分类法则建立方法，用于制造工具，其特征在于，该缺陷分类法则建立方法包括：将作为例子的具有多个致命缺陷的多个缺陷分类图像输入至该制造工具；将所有缺陷、图形和背景工艺材料信息输入至制造工具；对每一个输入图像执行图像检测和分析，以创造出每一输入图像的至少一缺陷、图形和背景的多个图像特征，其中所述输入图像包括作为例子的具有所述多个致命缺陷的所述多个缺陷分类图像；基于每一输入图像的该缺陷、该图形和该背景的所述多个图像特征，创造出每一输入图像的该缺陷、该图形和该背景的多个工艺特征与多个图像关联性特征；以及基于每一输入图像的该缺陷、该图形和该背景的所述多个图像特征、所述多个工艺特征与所述多个图像关联性特征建立该缺陷分类法则。
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