[发明专利]智能型缺陷良率总览接口系统与方法

摘要

本发明公开了一种智能型缺陷良率总览接口系统与方法，系统设计提出一个网页服务器，服务器用以启动包涵多个功能项目的网页接口，这些功能项目提供用来在接口上点选时启动对应的功能。通过网页接口上的使用者接口，使用者可选择一或多个功能来浏览多种有关晶圆良率的内容，其中系统使用存储器存储电脑可执行指令，可选择性执行对应的功能。当晶圆影像经接口输入系统时，系统可执行一缺陷坐标转换、仪表板总览缺陷过滤、缺陷取样、缺陷产出诊断、良率预测、图形诊断、数据管理与系统管理。通过此接口系统，还提供于晶圆工艺中取得数据的一种全晶片的总览方法。本发明可以通过数据探勘而改善半导体工艺良率。

主权项

一种应用于晶圆工艺中的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的系统包括：一网页服务器，开始一包括多个功能项目的网页接口，用以提供经点选启动一或多个对应的网页功能；一存储器，记载电脑可执行指令，以选择性地执行经点选的该对应网页功能，该多个网页功能包括：缺陷布局坐标转换手段，以取得缺陷布局坐标；仪表板总览手段，提供晶圆批种类的预览信息；缺陷筛选手段，用以根据该晶圆工艺早期的布局图形与缺陷大小执行缺陷筛选；缺陷取样手段，用以根据该布局图形、设备、光罩与设计弱点执行缺陷取样；缺陷良率诊断手段，用以识别随机粒子、系统性缺陷与缺陷分类；设计良率改善手段，用以根据一系统性缺陷图形库、可制造化设计、布局基准图与一高失败频率的缺陷图形库改善晶圆良率；良率预测手段，用以判断晶片制造的成本、估计良好晶粒交付数量，与确定新的设计；图形诊断手段，以在一缺陷分类模式、一布局图形群组模式、一热点模式或一多轮廓重迭模式执行图形轮廓测量；数据管理手段，用以产生报告与执行数据探勘；系统管理手段，用以管理该网页服务器的运作，该网页服务器包括系统设定与使用者管理。