[发明专利]智能型缺陷良率总览接口系统与方法

权利要求书

1.一种应用于晶圆工艺中的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的系统包括：

一网页服务器，开始一包括多个功能项目的网页接口，用以提供经点选启动一或多个对应的网页功能；

一存储器，记载电脑可执行指令，以选择性地执行经点选的该对应网页功能，该多个网页功能包括：

缺陷布局坐标转换手段，以取得缺陷布局坐标；

仪表板总览手段，提供晶圆批种类的预览信息；

缺陷筛选手段，用以根据该晶圆工艺早期的布局图形与缺陷大小执行缺陷筛选；

缺陷取样手段，用以根据该布局图形、设备、光罩与设计弱点执行缺陷取样；

缺陷良率诊断手段，用以识别随机粒子、系统性缺陷与缺陷分类；

设计良率改善手段，用以根据一系统性缺陷图形库、可制造化设计、布局基准图与一高失败频率的缺陷图形库改善晶圆良率；

良率预测手段，用以判断晶片制造的成本、估计良好晶粒交付数量，与确定新的设计；

图形诊断手段，以在一缺陷分类模式、一布局图形群组模式、一热点模式或一多轮廓重迭模式执行图形轮廓测量；

数据管理手段，用以产生报告与执行数据探勘；

系统管理手段，用以管理该网页服务器的运作，该网页服务器包括系统设定与使用者管理。

2.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的仪表板总览手段通过该网页服务器内的一仪表板总览模块执行，以提供查看一低良率批、一研发批、一前导产品、一组合晶片批、一客制功能批与一搜寻结果。

3.如权利要求2所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于，由该网页服务器开始的网页根据一或多个过滤条件，该过滤条件包括一指定日期期间、一产品选择、一设备选择与相关程序。

4.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的缺陷筛选手段由该网页服务器内的一缺陷筛选模块执行，根据布局基准图的信息，该信息包括基于布局的缺陷复合图形群组、布局图形群组的柏拉图分布、缺陷大小的柏拉图分布，与焦点曝光矩阵图。

5.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的缺陷取样手段由该网页服务器内的一缺陷取样模块根据非线路图案图形、布局图形群组、设备、光罩、设计弱点与非致命缺陷所执行。

6.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的缺陷良率诊断手段由该网页服务器内的一缺陷良率诊断模块所执行，用以识别随机粒子、系统性缺陷、缺陷分类，并提供一或多个关于缺陷型式、缺陷良率、缺陷组成与缺陷分布的工艺参数。

7.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的设计良率由该网页服务器内的一设计良率模块所执行，以根据一系统性缺陷图形库与一高失败频率的缺陷图形库执行图形比对。

8.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的良率预测由该网页服务器内的一良率预测模块根据一全层致命缺陷良率总览所执行。

9.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的图形诊断手段由该网页服务器内的一图形诊断模块执行，以在一缺陷分类模式、一布局图形群组模式、一热点模式或一图形重叠分析模式执行图形轮廓测量分析。

10.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的数据管理由该网页服务器内的一数据管理模块执行，藉此提供一报告建立工具、搜寻工具、一缺陷数据探勘工具，与一缺陷控制图表工具。

11.如权利要求1所述的智能型缺陷良率总览接口系统，其特征在于所述的系统管理由该网页服务器内的一系统管理模块执行，藉以提供一系统管理工具与一使用者管理工具。

12.一种应用于晶圆工艺中的智能型缺陷良率总览接口方法，其特征在于所述的方法包括：

由一整合接口系统的一网页服务器开始一网页接口服务，其中该网页接口服务起始包括多个功能目的网页，提供经点选启动一或多个对应功能；

输入一缺陷扫描文件或一设计布局；

执行缺陷筛选；

分析缺陷与建立一结果文件；以及

建立并显示一关于该网页上结果的总览。