[发明专利]一种氧化铌旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201210553666.0 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103045995A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 扈百直;胥小勇;刘孝宁;张红梅;赵清慧;马文卫;马建保;杨小林;胡海霞 | 申请（专利权）人： | 西北稀有金属材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/34;C23C4/10 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 徐淑芬 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法，其制备方法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀，无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到12mm；密度为4.6—5.2g/cm3，靶的成分为Nb2O4.3-4.9。本发明方法生产过程简单便捷，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化铌旋转靶材，其特征在于该氧化铌旋转靶材成分为Nb2O4.3‑4.9，密度为4.6—5.2g/cm3，厚度可达到12mm。
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