[发明专利]粒子束系统及其运行方法有效

专利信息
申请号: 201210543969.4 申请日: 2012-10-08
公开(公告)号: CN103050361A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: J·比伯格;R·普尔韦;V·维乔雷克 申请(专利权)人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邱军
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种运行粒子束系统的方法,其包括确定连接至数据网络的束偏转模块的偏转量及偏转时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的不熄灭时间;确定连接至数据网络的束熄灭模块的熄灭时间;产生包括多个数据记录的数据结构,其中每一个数据记录包括表示用于至少一个模块的指令的命令,以及表示将指令发送给数据网络的时间的命令时间;按照命令时间将数据结构的记录分类;基于数据结构,产生一组数字命令;以及以与分类的记录的顺序相应的顺序发送该组的数字命令至网络。
搜索关键词: 粒子束 系统 及其 运行 方法
【主权项】:
一种运行粒子束系统的方法,所述方法包括:确定至少一个偏转量和至少一个偏转时间,在该偏转时间,连接至所述粒子束系统的数据网络的所述粒子束系统的第一束偏转模块将对应于所述偏转量的至少一个偏转提供给带电粒子束;确定不熄灭时间,在该不熄灭时间,连接至所述数据网络的所述粒子束系统的束熄灭模块不熄灭所述束;确定熄灭时间,在该熄灭时间,连接至所述数据网络的所述束熄灭模块熄灭所述束;产生包括多个数据记录的数据结构,其中每一个数据记录包括命令和命令时间,该命令表示用于所述第一束偏转模块和所述束熄灭模块的至少一个的指令,该命令时间表示将所述指令发送给所述数据网络的时间;按照命令时间将所述数据结构的记录分类;基于所述数据结构,产生一组数字命令,其中为每一个所述记录产生一个数字命令;以及以与所分类的记录的顺序对应的顺序发送所述组的数字命令至所述网络;其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述第一束偏转模块以将对应于所述偏转量的偏转提供给所述束的指令;其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述束熄灭模块以不熄灭所述束的指令;以及其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述束熄灭模块以熄灭所述束的指令。
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