[发明专利]粒子束系统及其运行方法

权利要求书

1.一种运行粒子束系统的方法，所述方法包括：

确定至少一个偏转量和至少一个偏转时间，在该偏转时间，连接至所述粒子束系统的数据网络的所述粒子束系统的第一束偏转模块将对应于所述偏转量的至少一个偏转提供给带电粒子束；

确定不熄灭时间，在该不熄灭时间，连接至所述数据网络的所述粒子束系统的束熄灭模块不熄灭所述束；

确定熄灭时间，在该熄灭时间，连接至所述数据网络的所述束熄灭模块熄灭所述束；

产生包括多个数据记录的数据结构，其中每一个数据记录包括命令和命令时间，该命令表示用于所述第一束偏转模块和所述束熄灭模块的至少一个的指令，该命令时间表示将所述指令发送给所述数据网络的时间；

按照命令时间将所述数据结构的记录分类；

基于所述数据结构，产生一组数字命令，其中为每一个所述记录产生一个数字命令；以及

以与所分类的记录的顺序对应的顺序发送所述组的数字命令至所述网络；

其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述第一束偏转模块以将对应于所述偏转量的偏转提供给所述束的指令；

其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述束熄灭模块以不熄灭所述束的指令；以及

其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述束熄灭模块以熄灭所述束的指令。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述第一束偏转模块以将对应于所述偏转量的偏转提供给所述束的指令和用于所述束熄灭模块以不熄灭所述束的指令二者。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述第一束偏转模块以将对应于所述偏转量的偏转提供给所述束的指令和用于所述束熄灭模块以熄灭所述束的指令二者。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中所述方法包括确定第一和第二偏转量以及第一和第二偏转时间；

其中所述组的至少一个数字命令表示用于所述第一束偏转模块以将对应于第一偏转量的偏转提供给所述束和随后将对应于第二偏转量的偏转提供给所述束的组合指令。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述至少一个数字命令包括至少一个数据元素，该数据元素表示所述第二偏转时间和所述第一偏转时间之间的时间差。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中所述至少一个数字命令包括至少一个数据元素，该数据元素表示以下中的至少一个：所述第一束偏转模块在后续时间步辐中用来改变所述束的偏转的偏转步进大小；以及所述第一束偏转模块在所述第一偏转时间和所述第二偏转时间之间改变所述束的偏转的步数。

7.根据权利要求1至6之一所述的方法，其中所述不熄灭时间晚于所述偏转时间，并且其中所述束不熄灭时间和所述偏转时间之间的时间差是可变的。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述不熄灭时间和所述偏转时间之间的时间差能够变化大于5μs或大于50μs。

9.根据权利要求1至8之一所述的方法，其中所述数据结构包括第一数据记录，该第一数据记录包括表示用于所述束熄灭模块以不熄灭所述束的指令的命令和表示将该指令发送给所述数据网络的时间的第一命令时间；

其中所述数据结构包括第二数据记录，该第二数据记录包括表示用于所述束熄灭模块以熄灭所述束的指令的命令和表示将该指令发送给所述数据网络的时间的第二命令时间；以及

其中所述熄灭时间和所述不熄灭时间之间的时间差不同于所述第二命令时间和所述第一命令时间之间的时间差。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述熄灭时间和所述不熄灭时间之间的时间差与所述第二命令时间和所述第一命令时间之间的时间差相差大于50ns、大于100ns或大于200ns。

11.根据权利要求1至10之一所述的方法，其中所述数据结构包括至少一个记录，该至少一个记录包括表示用于所述束熄灭模块以不熄灭所述束的指令和用于所述束熄灭模块以熄灭所述束的指令二者的命令，其中所述命令包括至少一个数据元素，该数据元素表示在所述熄灭时间和所述不熄灭时间之间的时间差。