[发明专利]一种蚀刻剂及其制备和应用有效
| 申请号： | 201210540299.0 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103013523A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 萨莉·安·亨利;黄金涛;马嘉;吴仪;苏宇佳 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王朋飞;张庆敏 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻剂，其是由硫酸和过硫酸铵组成，过滤酸铵的质量浓度为1-25%。硫酸为98%质量浓度的硫酸。本发明还提出制备该蚀刻剂的方法，其是将过硫酸铵加入100-200℃的硫酸中。本发明用过硫酸铵替代氧化剂过氧化氢。过硫酸铵是一种粉末，使操作更简单；本发明提出的蚀刻剂处理晶片或光掩模，因为硫酸是与有机物反应的副产物，而不是水，所以多次清洗后蚀刻剂也不会被稀释，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 应用 | ||
【主权项】：
一种蚀刻剂，其特征在于，所述蚀刻剂由硫酸和过硫酸铵组成，过硫酸铵的质量浓度为1‑25%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210540299.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效型空气净化器
- 下一篇：一种空气净化新风机
