[发明专利]一种多结太阳电池宽光谱减反射膜及其制备方法

摘要

本发明的多结太阳电池宽光谱减反射膜及其制备方法，步骤包括选择一种高折射率材料、一种低折射率材料作为镀膜材料，改进电子束蒸发设备，用椭偏仪测试材料光学参数（n，k），输入优化程序；确定膜系层数，优化程序中输入多结电池的结构参数，运行优化程序计算出最优膜厚；接近电池表面的材料为高折射率材料，然后在高折射率材料上镀低折射率材料形成HL，递增HL形成宽光谱减反射膜结构，然后将折射率小于1.2的材料加在所述反射膜结构上。本发明的优点是选用材料均为常见材料即可，通过优化厚度，能有效降低300～1800nm的较宽范围内电池的反射率。该方法工艺简便，又能得到适合多结电池宽光谱范围的减反射膜，实用性强。

主权项

一种多结太阳电池宽光谱减反射膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、选择一种高折射率材料、一种低折射率材料作为镀膜材料，用椭偏仪测试两种材料的光学参数（n，k），输入优化程序；步骤2、在电子束蒸发设备中装入电机使基片旋转，同时令基片法向与电子束成一定角度，在基片上蒸镀的材料为低折射率材料，用椭偏仪测试其光学参数（n，k），输入优化程序；步骤3、确定膜系层数，优化程序中输入多结电池的结构参数，包括所述多结电池每一层厚度及其光学参数，运行优化程序计算出最优膜厚；接近电池表面的材料为高折射率材料，然后在高折射率材料上镀低折射率材料形成HL；步骤4、重复所述步骤3中形成HL的过程，依次递增HL个数，形成宽光谱减反射膜结构，然后将用斜角入射方法制备的折射率小于1.2的材料加在所述反射膜结构上。