[发明专利]一种多结太阳电池宽光谱减反射膜及其制备方法无效
申请号: | 201210539205.8 | 申请日: | 2012-12-14 |
公开(公告)号: | CN102983226A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 方昕;张玮;王艺帆 | 申请(专利权)人: | 上海空间电源研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216 |
代理公司: | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人: | 冯守志 |
地址: | 200245 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳电池 光谱 减反射膜 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及的是一种多结太阳电池技术领域的方法,具体涉及一种多结太阳电池宽光谱减反射膜及其制备方法。
背景技术
GaInP/GaAs/Ge三结太阳电池在空间应用中(AM0)的效率已经接近极限,为了进一步提高太阳电池的效率,对AM0光谱进行更好的划分,新的空间太阳电池更倾向于四结至六结电池的研究。多结太阳电池利用的光谱范围扩展,需要减反射膜的作用范围拓宽到300-1800nm,以保证光的有效吸收。目前的三结电池可以用简单的双层减反射膜控制反射,而对于更宽光谱的减反射要求,必须使用更复杂的多层薄膜结构,形成折射率梯度变化的减反射膜体系。
目前国内还未有四结以上的成熟电池出现,因此对适合多结太阳电池的宽光谱减反射膜的研究近乎空白。而国外多结太阳电池的发展更早,美国的Emcore公司及Spectrolab公司等相继报道了四结、五结甚至六结的太阳电池,效率较传统的三结太阳电池有了很大突破。因此,国外对减反射膜也相应地进行了更为深入的研究。Lucas Alves等人的专利《Antireflection Coating for Multi-junction Solar Cells》(US 2011/0232745 A1)中就已报道在三结太阳电池上得到300-1850nm范围内平均反射率小于5%的减反射膜。但该专利所述的三结太阳电池结构简单,且涉及的是磁控溅射设备,与本发明所使用的电子束蒸发设备有所不同。
国内目前在四结、五结电池上还未有成果,不能确保解决多结太阳电池解决宽光谱减反射膜的难题。因此,业界对多结太阳电池宽光谱减反射膜有所希冀,特别是需要一种多结太阳电池宽光谱减反射膜的制备方法。在各方的努力研究下,不久的将来国内必然会出现四结、五结太阳电池,而本专利恰好能为多结太阳电池解决宽光谱减反射膜的难题。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供一种多结太阳电池宽光谱减反射膜的制备方法,利用制备得到的折射率低于1.2的材料及HL膜系结构,设计出适合多结太阳电池的减反射膜。
本发明是通过以下技术方案实现的,一种多结太阳电池宽光谱减反射膜制备方法,包括如下步骤:
步骤1、选择一种高折射率材料、一种低折射率材料作为镀膜材料,用椭偏仪测试两种材料的光学参数(n,k),输入优化程序;
步骤2、在电子束蒸发设备中装入电机使基片旋转,同时令基片法向与电子束成一定角度,在基片上蒸镀的材料为低折射率材料,用椭偏仪测试其光学参数(n,k),输入优化程序;
步骤3、确定膜系层数,优化程序中输入多结电池的结构参数,包括所述多结电池每一层厚度及其光学参数,运行优化程序计算出最优膜厚;接近电池表面的材料为高折射率材料,然后在高折射率材料上镀低折射率材料形成HL;
步骤4、重复所述步骤3中形成HL的过程,依次递增HL个数,形成宽光谱减反射膜结构,然后将用斜角入射方法制备的折射率小于1.2的材料加在所述反射膜结构上。
进一步,所述低折射率材料为SiO2、Al2O3或MgF,所述高折射率材料为TiO2、Ta2O5、ZnS、TiO2、HfO2或NbO5。
进一步,所述基片法向与电子束成的角度大于80°。
进一步,所述优化程序的目标函数为:
(1)
其中为AM0光谱光强;在未测得电池相应时,也可将式上式简化为
(2)。
利用计算反射谱的平均反射率,可得其在300~1800nm范围内平均反射率为4.52%。
本发明的另一方面在于利用上述减反射膜制备方法制成的减反射膜,所述减反射膜为高折射率材料、低折射率材料组成多层交替结构上镀有一层折射率小于1.2的材料。
本发明具有显著优点和进步,本发明虽然需要在多结太阳电池上蒸镀多层光学薄膜,但仅需要2种常见材料即可,将普通的电子束蒸发设备稍作改动,可以在表面制备出折射率低于1.2的材料,通过适当优化厚度,就能有效降低300-1800nm的较宽范围内电池的反射率。该膜系蒸镀工艺简便,又能得到适合多结电池宽光谱范围的减反射膜,实用性强。结合附图,根据下文的通过示例说明本发明主旨的描述可清楚本发明的其他方面和优点。
附图说明
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海空间电源研究所,未经上海空间电源研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210539205.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:铝箔化成专用调压整流变压器
- 下一篇:一种多栅极高压场效应晶体管
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的