[发明专利]一种微机械系统中接触式电阻压力传感器及其测量方法

摘要

本发明公开了一种微机械系统中接触式电阻压力传感器，包括顶部设有条形电极阵列的硅衬底和底部设有凹槽的硅片，硅片固定连接在硅衬底的顶面，硅片的凹槽形成密封腔体，凹槽的表面溅射一金属层，凹槽上方为作为压力感知区的顶部膜层；条形电极阵列是在硅衬底上通过掺杂方式形成的相互间隔、并行排列的条形电极；每个条形电极的中部断开，形成条形电极对；每个条形电极的两端均位于硅片外侧，且每个条形电极的两端均连接压焊块，压焊块固定连接在硅衬底上。该传感器结构简单，可准确测量压力。同时，本发明还公开了该传感器的测量方法，该测量方法通过电阻测量，即可测算压力大小，且无须电阻的精确测量，该测量方法高效、简单、易行。

主权项

一种微机械系统中接触式电阻压力传感器，其特征在于：该传感器包括顶部设有条形电极阵列的硅衬底（1）和底部设有凹槽的硅片（4），硅片（4）固定连接在硅衬底（1）的顶面，硅片（4）的凹槽形成密封腔体，凹槽的表面溅射一金属层（5），凹槽上方为作为压力感知区的顶部膜层（6）；所述的条形电极阵列是在硅衬底（1）上通过掺杂方式形成的相互间隔、并行排列的条形电极；每个条形电极的中部断开，形成条形电极对；每个条形电极的两端均位于硅片（4）外侧，且每个条形电极的两端均连接压焊块，压焊块固定连接在硅衬底（1）上。