[发明专利]薄膜晶体管、阵列基板与显示装置有效
申请号: | 201210513258.2 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN103378163A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 徐振航;辛哲宏 | 申请(专利权)人: | 元太科技工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/10 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种薄膜晶体管、阵列基板与显示装置。该薄膜晶体管包含:一栅极,设置于一基底上,其中该栅极具有连接该基底的一第一侧面;一栅介电层,设置于该栅极上;一半导体层,设置于该栅介电层上并覆盖该栅极的该第一侧面;以及一源极与一漏极,分别设置于该半导体层上并位于该半导体层的相对两侧,且该源极与该漏极位于该栅极的该第一侧面上。在此薄膜晶体管的结构中,增加其栅极厚度,让此薄膜晶体管的源极与漏极配置在栅极侧壁上,以减少此薄膜晶体管所占据的面积。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 显示装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管,其特征在于,该薄膜晶体管包含:一栅极,设置于一基底上,其中该栅极具有连接该基底的一第一侧面;一栅介电层,设置于该栅极上;一半导体层,设置于该栅介电层上并覆盖该栅极的该第一侧面;以及一源极与一漏极,分别设置于该半导体层上并位于该半导体层的相对两侧,且该源极与该漏极位于该栅极的该第一侧面上。
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