[发明专利]一种测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器有效
| 申请号： | 201210513131.0 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN103852190B | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;赵江山;李慧;鲍洋;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器，包括由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2)，以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元；可插入待测腔体的、封装光纤光栅传感元的表面镀镍的不锈钢管(5)；设置在不锈钢管(5)周圈的固定环臂(6)、固定环臂(6)上的固定螺孔(7)，和固定环臂(6)内侧的密封圈(10)；设置在不锈钢管(5)开口顶端的光缆衔接管(4)、开口顶端凸出的出线管(9)，和出线管输出的光缆(8)。本发明可用于高压、强腐蚀性环境下温度的测量，可靠性高，寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 arf 准分子激光 器腔内 温度 光纤 光栅 传感器 | ||
【主权项】：
一种测量准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器，包括：表面镀镍的不锈钢管(5)、光纤光栅传感头(1)、充满所述不锈钢管(5)内部的导热硅胶(3)，其特征在于：所述光纤光栅传感头(1)的一端通过熔接连接传输光纤(2)；由所述光纤光栅传感头(1)、与所述光纤光栅传感头(1)一端连接的传输光纤(2)以及充满不锈钢管(5)内部的导热硅胶(3)组成光纤光栅传感元；所述不锈钢管(5)封装所述光纤光栅传感元，且该不锈钢管(5)内沿轴向放置光纤光栅传感头(1)及导热硅胶(3)，该不锈钢管(5)的管外径略小于激光腔壳体所预留的测量孔直径，管内径尺寸足够放置光纤光栅及导热硅胶，使得所述光纤光栅传感头(1)处于自由状态；所述的不锈钢管(5)的一端不开口，另外一端开口供光纤信号导出，其中要插入待测激光腔壳体的不锈钢管的一端是不开口的，以抵抗激光腔内的高压，并隔离强腐蚀气体。
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