[发明专利]玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法无效
申请号: | 201210506207.7 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN103134814A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 土屋诚 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 高培培;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法,可以以简单的结构进行包含原材料、板厚、端面的状态等的玻璃基板等的状态的检查。在拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像,并基于上述图像的图像数据进行上述玻璃基板的检查的玻璃基板检查装置中,具有:以对玻璃基板拍摄多个图像的拍摄单元;基于由上述拍摄单元拍摄到的上述图像的图像数据算出上述玻璃基板的板厚的板厚计算单元。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 检查 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板检查装置,拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像,基于所述图像的图像数据进行所述玻璃基板的检查,具有:拍摄单元,对玻璃基板拍摄多个图像;及板厚计算单元,基于由所述拍摄单元拍摄到的所述图像的图像数据算出所述玻璃基板的板厚。
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