[发明专利]玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板检查装置，拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，基于所述图像的图像数据进行所述玻璃基板的检查，具有：

拍摄单元，对玻璃基板拍摄多个图像；及

板厚计算单元，基于由所述拍摄单元拍摄到的所述图像的图像数据算出所述玻璃基板的板厚。

2.如权利要求1所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述玻璃基板收纳于盒中，该盒具有：

光源用开口部，用于使来自所述光源的光入射；及

拍摄用开口部，用于供所述拍摄单元拍摄所述玻璃基板的图像，

所述玻璃基板检查装置具有：

驱动控制单元，使所述盒在所述拍摄单元的拍摄视场内移动；及

拍摄控制单元，使所述拍摄单元从移动的所述盒的所述拍摄用开口部侧拍摄所述多个图像。

3.如权利要求2所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述盒在盒的上表面具有所述拍摄用开口部。

4.如权利要求2或3所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述盒配置于所述光源的上方，

所述驱动控制单元使所述光源和所述盒一起移动。

5.如权利要求2～4中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元使用使所述拍摄单元的拍摄面形成为相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的状态而拍摄到的图像的图像数据。

6.如权利要求2～5中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有动作控制单元，该动作控制单元使所述拍摄单元的拍摄面以相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的方式动作。

7.如权利要求2～6中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述拍摄单元具有倾斜拍摄单元，该倾斜拍摄单元以使拍摄面相对于由所述拍摄用开口部形成的平面的法线具有角度的方式配置。

8.如权利要求1～7中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元具有：

灰度处理单元，将所述图像数据形成为灰度数据；及

成对边缘检测单元，在所述灰度数据的规定区域检测由亮度上升的上边缘和亮度下降的下边缘构成的成对边缘，

将所述上边缘和所述下边缘之间的距离设为所述玻璃基板的板厚。

9.如权利要求8所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在通过所述成对边缘检测单元未检测出所述上边缘及所述下边缘时或所述上边缘和所述下边缘之间的距离不在第一设定值范围内时，

基于检测出所述规定区域内的所述图像数据的色阶的变化后的结果算出所述玻璃基板的板厚。

10.如权利要求9所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在所述规定区域内检测两个所述色阶变化的点，并算出所述两点之间的宽度作为所述玻璃基板的板厚。

11.如权利要求10所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述板厚计算单元在所述两点之间的宽度不在第二设定值范围内时，设定与所述规定区域不同的规定区域，判断在所述不同的规定区域内通过所述成对边缘检测单元是否检测出所述上边缘及所述下边缘。

12.如权利要求1～11中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有原材料判别单元，该原材料判别单元基于所述图像数据判别所述玻璃基板的原材料。

13.如权利要求1～12中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

具有端面状态检测单元，该端面状态检测单元基于所述图像数据检测是否对玻璃基板的端面进行了加工。

14.如权利要求1～13中任一项所述的玻璃基板检查装置，其中，

所述玻璃基板是在中心具有圆孔的圆盘形状的磁记录介质用玻璃基板。

15.一种磁记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

包括利用权利要求1～13中任一项所述的玻璃基板检查装置进行的检查工序。