[发明专利]玻璃基板检查装置及玻璃基板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及基于向玻璃基板照射来自光源的光而拍摄的图像数据进行上述玻璃基板的检查的玻璃基板检查装置及利用该玻璃基板检查装置检查的玻璃基板的制造方法。

背景技术

目前，例如专利文献1～专利文献5所记载，已知有向透光性物体照射光进行拍摄并从拍摄的图像信息识别透光性物体的颜色等的方法。根据该方法，能够基于识别出的颜色判别透光性物体的原材料等。

专利文献1：日本特开2000-162045号公报

专利文献2：日本特开2001-133328号公报

专利文献3：日本特开平3-200025号公报

专利文献4：日本特开2002-207994号公报

专利文献5：日本特开2000-28435号公报

在上述现有的技术中，难以得到例如与玻璃基板等透光物体的板厚及玻璃基板的端面状态等相关的信息，作为检查玻璃基板等的状态的方法是不充分的。另外，检查玻璃基板时，也可能在玻璃基板表面附着异物，而该异物成为玻璃基板产品的表面异物缺陷。

发明内容

本发明是鉴于上述情况并为了将其解决而研发的，其目的在于，提供一种以简单的结构检查玻璃基板等的状态的玻璃基板检查装置及包括使用该检查装置检查玻璃基板的检查工序的玻璃基板的制造方法。

为了实现所述目的，本发明采用如下结构。

本发明提供一种玻璃基板检查装置，其拍摄照射有来自光源的光的玻璃基板的图像，基于所述图像的图像数据进行所述玻璃基板的检查，具有：拍摄单元，对玻璃基板拍摄多个图像；及板厚计算单元，基于由所述拍摄单元拍摄到的所述图像的图像数据算出所述玻璃基板的板厚。

根据本发明，能够以简单的结构进行玻璃基板等的状态的检查。

附图说明

图1是表示第一实施方式的玻璃基板检查装置的硬件结构的一个例子的图；

图2是用于说明第一实施方式的拍摄装置的图；

图3是用于说明盒和盒所收纳的玻璃基板的图；

图4是说明第一实施方式的解析装置具有的功能的图；

图5是表示由第一实施方式的拍摄装置拍摄的图像的例子的图；

图6是表示玻璃基板原材料和特定颜色的表的一个例子的图；

图7是对端面状态的检测进行说明的第一图；

图8是说明第一实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图；

图9是说明第二实施方式的解析装置具有的功能的图；

图10是说明第二实施方式的玻璃基板检查装置的动作的流程图；

图11是说明第三实施方式的解析装置具有的功能的图；

图12是表示由第三实施方式的拍摄装置拍摄到的图像的例子的图；

图13是说明第三实施方式的板厚计算部的图；

图14是说明基于第三实施方式的板厚计算部进行的玻璃基板的板厚计算的流程图；

图15是说明第三实施方式的成对边缘检测的图；

图16是说明基于第三实施方式的区域设定部进行的区域设定的图；

图17是说明第四实施方式的拍摄装置的图；

图18是表示第四实施方式的摄像机和盒的位置关系的例子的图；

图19是说明第五实施方式的拍摄装置的图。

标号说明

100玻璃基板检查装置

200、200A、200B解析装置

210运算处理装置

211驱动控制部

212拍摄控制部

213图像数据取得部

214位置校正部

215步长处理部

216颜色提取部

217原材料判定部

218、231板厚计算部

219端面状态检测部

221盒判别部

300拍摄装置

301照明装置用底座

305支柱固定用底座

310照明装置

320驱动装置

330、330A、330B摄像机

340盒用底座

341缝隙

500（500A～500C）玻璃基板

具体实施方式

（第一实施方式）

下面，参照附图对本发明的第一实施方式进行说明。图1是表示第一实施方式的玻璃基板检查装置的硬件结构的一个例子的图。