[发明专利]一种射频电源外部输入信号相位同步的方法有效
| 申请号： | 201210496827.7 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103856214A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;李英杰;夏洋;王文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03L7/18 | 分类号： | H03L7/18;H03L7/099 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频电源外部输入信号相位同步的方法，包括：使所述射频电源具有多个射频信号输出端一个射频信号输入端；使所述多个射频信号输出端和所述一个射频信号输入端均与射频信号发生器相连，且连接的同轴电缆长度一致；所述射频信号输入端与自身其中之一的射频信号输出端之间采用同轴电缆连接，且同一机台的多个射频电源之间连接的同轴电缆长度一致。本发明针对射频电源使用的射频信号所经历的路径，设置传输射频信号的同轴电缆长度保持一致，因此消除同一机台上的各射频电源之间的信号相位差，保持相位同步，避免串扰，提高工艺稳定性；本发明只需要保证外部连接的同轴电缆长度、材质相同即可实现相位同步，不仅成本低，而且方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 外部 输入 信号 相位 同步 方法 | ||
【主权项】：
一种射频电源输入信号相位同步的方法，其特征在于：步骤1：使所述射频电源具有多个射频信号输出端一个射频信号输入端；步骤2：使所述多个射频信号输出端和所述一个射频信号输入端均与射频信号发生器相连，且连接的同轴电缆长度一致；步骤3：所述射频信号输入端与自身其中之一的射频信号输出端之间采用同轴电缆连接，且同一机台的多个射频电源之间连接的同轴电缆长度一致。
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