[发明专利]一种射频电源外部输入信号相位同步的方法有效
| 申请号： | 201210496827.7 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103856214A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;李英杰;夏洋;王文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03L7/18 | 分类号： | H03L7/18;H03L7/099 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 外部 输入 信号 相位 同步 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种射频电源输入信号相位同步的方法，其特征在于：
步骤1：使所述射频电源具有多个射频信号输出端一个射频信号输入端；
步骤2：使所述多个射频信号输出端和所述一个射频信号输入端均与射频信号发生器相连，且连接的同轴电缆长度一致；
步骤3：所述射频信号输入端与自身其中之一的射频信号输出端之间采用同轴电缆连接，且同一机台的多个射频电源之间连接的同轴电缆长度一致。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤2中的连接的同轴电缆长度一致，还包括：连接的同轴电缆的材质一致。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤3中的连接的同轴电缆长度一致，还包括：连接的同轴电缆的材质一致。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述射频信号输出端和射频信号输入端设置在射频电源的后面板上。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述射频信号输出端和射频信号输入端为BNC接头。
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