[发明专利]加热装置及等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201210457542.2 | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103811246A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张阳;赵梦欣 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种加热装置及等离子体加工设备，其用于加热承载有被加工工件的托盘，其包括支撑底座、支撑柱和加热单元，其中，加热单元设置在支撑底座的上方；支撑柱与支撑底座固定连接，并且支撑柱的顶端高于加热单元的顶端，用以支撑所述托盘；加热单元包括采用热辐射的方式朝向托盘辐射热量的发热元件，发热元件包括螺旋状辐射体，螺旋状辐射体围绕托盘的中心线且沿所述托盘的径向均匀缠绕，并且螺旋状辐射体具有靠近托盘的中心线的第一接线端和靠近托盘的边缘的第二接线端。本发明提供的加热装置不仅结构简单，而且可以提高加热装置的加热均匀性，从而可以提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种加热装置，用于加热承载有被加工工件的托盘，其包括支撑底座、支撑柱和加热单元，其中，所述加热单元设置在所述支撑底座的上方；所述支撑柱与所述支撑底座固定连接，并且所述支撑柱的顶端高于所述加热单元的顶端，用以支撑所述托盘；所述加热单元包括采用热辐射的方式朝向所述托盘辐射热量的发热元件，其特征在于，所述发热元件包括螺旋状辐射体，所述螺旋状辐射体围绕所述托盘的中心线且沿所述托盘的径向均匀缠绕，并且所述螺旋状辐射体具有靠近所述托盘的中心线的第一接线端和靠近所述托盘的边缘的第二接线端。
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