[发明专利]一种用于离子引出的引出抑制电极无效
| 申请号： | 201210444831.9 | 申请日： | 2012-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103811252A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李幸夫 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/04;H01J37/30 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了离子注入机系统中一种用于离子引出的引出抑制电极装置，这种装置是一种在束流一出事抑制由于离子打到地电极及以后的管壁上所产生的二次电子被反加速而进入离子源放电室的装置。本装置包括：沉孔(1)、引束出口(2)、高纯石墨电极(3)、螺纹孔(4)、电极连接板(5)说明书对该装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 引出 抑制 电极 | ||
【主权项】：
一种应用于离子引出的引出抑制电极的装置，包括：沉孔(1)、引束出口(2)、高纯石墨电极(3)、螺纹孔(4)、电极连接板(5)其特征在于：所述高纯石墨电极(3)的沉孔(1)与电极连接板(5)的螺纹孔(4)通过螺钉相连起到固定的作用。
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