[发明专利]一种微波激发的超临界干燥装置及方法有效
| 申请号： | 201210438693.3 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN102929110A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 于明岩;景玉鹏;郭晓龙;赵士瑞;徐昕伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁上的金属转盘(9)；设置于腔室(3)内与金属转盘(9)连接的电机(10)；设置于腔室(3)内的微波发生装置(11)；以及设置于腔室(3)内的黄色光源(12)。利用本发明，解决了微细结构的纳米图形在干燥过程中发生的断裂、倒伏或粘连等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 激发 临界 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种微波激发的超临界干燥装置，其特征在于，包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁上的金属转盘(9)；设置于腔室(3)内与金属转盘(9)连接的电机(10)；设置于腔室(3)内的微波发生装置(11)；以及设置于腔室(3)内的黄色光源(12)。
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