[发明专利]晶圆测试数据处理方法及其系统在审
| 申请号： | 201210433640.2 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103793437A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 许文慧;连晓谦 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆测试数据处理方法及其系统，该方法包括：S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类，转换成叠加嵌套的XML格式测试数据，可以实现多个信息进行分离提取，适用于国际化的工厂需求，无需在存储其它格式的数据，同时，XML格式数据的架构设计，格式保持一致，处理效率高，可使用于其它的系统和工具，数据分析更加的便利，更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 数据处理 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆测试数据处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
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