[发明专利]晶圆测试数据处理方法及其系统

权利要求书

1.一种晶圆测试数据处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；

S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；

S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤S2具体为：

S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息；

S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息，并嵌套在文档信息节点下；

S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息节点下；

S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息节点下；

S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值，并嵌套在SITE信息节点下。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息，点状态，X坐标信息，Y坐标信息。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：

忽略类文本格式测试数据中的无关信息，所述无关信息包括存储路径、数据上下限。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。

7.一种如权利要求1所述的晶圆测试数据处理系统，其特征在于，所述系统包括：

测试模块，用于对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；

转换模块，用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据；

存储模块，用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括测试模块中类文本测试数据的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括：

文档信息；

嵌套在文档信息节点下的LOT信息；

嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息；

嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息；

嵌套在SITE信息节点下的测试数值。

10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息，点状态，X坐标信息，Y坐标信息。