[发明专利]晶圆测试数据处理方法及其系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种晶圆测试数据处理方法及其系统。

背景技术

现有技术中的晶圆测试数据是一行一行逐行进行排列的，只需要采用文本读取方式对下面格式来进行顺序的读取并存储数据。目前对数据的读取仅限在Lucent测试系统上，WINDOWS系统尚无高效的读取方式，数据量大时，读取很慢。就当前情形，对数据分析非常不利。现有的技术可以对上述的格式进行数据的读取，但是特殊格式还不能实现，所以改变现状刻不容缓。类文本格式的数据是由UNIX环境Lucent测试系统在测试时自动生成的，也是测试系统自带的功能，并不能满足日益增长的多系统多数据源共享的需要。

可扩展标记语言(Extensible Markup Language，XML)，用于标记电子文件使其具有结构性的标记语言，可以用来标记数据、定义数据类型，是一种允许用户对自己的标记语言进行定义的源语言，XML是标准通用标记语言(SGML)的子集，非常适合Web传输，且XML可以提供统一的方法来描述和交换独立于应用程序或供应商的结构化数据。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统，其可以实现测试数据的格式转换。

为了实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下：

一种晶圆测试数据处理方法，所述方法包括以下步骤：

S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；

S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；

S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

作为本发明的进一步改进，所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

作为本发明的进一步改进，所述步骤S2具体为：

S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息；

S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息，并嵌套在文档信息节点下；

S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息节点下；

S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息节点下；

S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值，并嵌套在SITE信息节点下。

作为本发明的进一步改进，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息，点状态，X坐标信息，Y坐标信息。

作为本发明的进一步改进，所述步骤S2还包括：

忽略类文本格式测试数据中的无关信息，所述无关信息包括存储路径、数据上下限。

作为本发明的进一步改进，所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。

相应地，一种晶圆测试数据处理系统，所述系统包括：

测试模块，用于对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；

转换模块，用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据；

存储模块，用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。

作为本发明的进一步改进，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括测试模块中类文本测试数据的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。

作为本发明的进一步改进，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括：

文档信息；

嵌套在文档信息节点下的LOT信息；

嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息；

嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息；

嵌套在SITE信息节点下的测试数值。

作为本发明的进一步改进，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息，点状态，X坐标信息，Y坐标信息。