[发明专利]具有多个传感器元件的封装的传感器有效
| 申请号： | 201210433621.X | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102980711A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | I·本特利;L·F·里克斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蒋骏;李浩 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开涉及包括多个传感器元件的传感器。在一些情况下，多个传感器元件可被安装在单个基板上并且均可被配置为感测具有不同分辨率、灵敏度、和/或范围的单个参数，和/或多个参数。在一个例子中，多个压力感测管芯可被安装在单个封装中，且根据期望，均可被配置为压力差传感器、绝对压力传感器、和/或表压传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 传感器 元件 封装 | ||
【主权项】：
一种压力传感器(10)，包括：包括第一侧和第二侧的基板(22)；安装在基板(22)的第一侧上的第一压力感测管芯(12)，其中该第一压力感测管芯(12)包括隔膜和放置在该隔膜上的一个或多个压阻元件，其中该第一压力感测管芯(12)被放置在基板(22)中的第一开口(24)上，该第一开口(24)在基板(22)的第一侧和第二侧之间延伸申；安装在基板(22)的第一侧上的第二压力感测管芯(14)，其中该第二压力感测管芯(14)包括隔膜和放置在该隔膜上的一个或多个压阻元件；第一外壳构件(20)，被放置在该基板(22)的第一侧上且限定了在第一压力感测管芯(12)和该第二压力感测管芯(14)周围的第一空腔(31)，其中该第一外壳构件(20)包括第一压力开口(28)，用于将第一压力感测管芯(12)和/或该第二压力感测管芯(14)暴露给第一压力；以及第二外壳构件(18)，被放置在基板(22)的第二侧上且限定了第二空腔(30)，其中该第二外壳构件(18)包括第二压力开口(26)，用于将第一压力感测管芯(12)和/或第二压力感测管芯(14)暴露给第二压力。
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