[发明专利]监测扫描电子显微镜的电子束状态的方法和装置有效
| 申请号： | 201210427489.1 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103794451A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡博修;黄怡 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈新 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种监测扫描电子显微镜（SEM）的电子束状态的方法和装置。SEM包括电子枪和电磁透镜系统。电子枪发出的电子束作为电磁透镜系统的输入电子束，经过电磁透镜系统后作为输出电子束入射到样品表面，电磁透镜系统以一组工作参数来表示电磁透镜系统对输入电子束的调整操作。监测方法包括：第一获取步骤，用于获取输入电子束的质量参数；第二获取步骤，用于获取电磁透镜系统当前的一组工作参数；计算步骤，用于根据输入电子束的质量参数与当前的一组工作参数中的一个或多个工作参数，计算输出电子束的质量参数；确定步骤，用于基于输出电子束的质量参数，确定是否要对SEM进行校准。本发明实施例可以实现对SEM的电子束状态的在线监控。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 扫描 电子显微镜 电子束 状态 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种监测扫描电子显微镜（SEM）的电子束状态的方法，所述SEM包括电子枪和电磁透镜系统；其中，电子枪发出的电子束作为电磁透镜系统的输入电子束，经过电磁透镜系统后作为输出电子束入射到样品表面，所述电磁透镜系统以一组工作参数来表示所述电磁透镜系统对所述输入电子束的调整操作；其特征在于，所述方法包括：第一获取步骤，用于获取所述输入电子束的质量参数；第二获取步骤，用于获取电磁透镜系统当前的一组工作参数；计算步骤，用于根据所述输入电子束的质量参数与所述当前的一组工作参数中的一个或多个工作参数，计算所述输出电子束的质量参数；以及确定步骤，用于基于所述输出电子束的质量参数，确定是否要对SEM进行校准。
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