[发明专利]微机电装置与制作方法有效
| 申请号： | 201210425846.0 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103796148B | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡明翰 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00;H04R19/00;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 陈肖梅,谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微机电装置，其包含至少一基板、一电极、以及一振膜。其中，电极设置于基板上且具有多个孔位。振膜设置于电极上方且平行于电极，且与电极形成一电容式传感器，振膜上方及／或下方具有多个突肋，多个突肋对应于多个孔位而错位设置且不接触电极。此外，本发明亦提供此微机电装置的一制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，其特征在于，包含：一基板；一电极，设置于该基板上且具有多个孔位；以及一振膜，设置于该电极上方且与该电极形成一电容式传感器，该振膜上方及/或下方具有多个突肋，根据垂直于该基板的方向进行视角观察，该些突肋对应于该些孔位而设置于其内部且不接触该电极，该些突肋与该些孔位边缘保持间隙/距离，且不与该电极重叠，突肋与孔位为彼此错位设置。
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