[发明专利]太阳能电池的制造装置、太阳能电池及其制造方法

摘要

提供一种太阳能电池的制造装置、太阳能电池及其制造方法，降低异质结太阳能电池的制造成本。太阳能电池的制造装置具备：基板保持架，以使基板的第1主面以及第2主面这两者露出的方式平面地保持多个所述基板；前成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，在所述基板的所述第1主面形成第1膜；后成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，在所述基板的所述第2主面形成第2膜；移动室，以不开放大气地能够从所述前成膜室向所述后成膜室搬运所述基板保持架的方式连接所述前成膜室和所述后成膜室；以及搬运机构，从所述前成膜室向所述后成膜室不开放大气地在搬运路径的大部分中在沿着所述第1主面的方向上搬运所述基板保持架。

主权项

一种太阳能电池的制造装置，其特征在于，具备：基板保持架，以使具有第1主面和所述第1主面的相反侧的第2主面的基板的所述第1主面以及所述第2主面这两者露出的方式，平面地保持多个所述基板；前成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第2主面从应发生的放电中隔离且使所述第1主面曝露于所述应发生的放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使第1气体放电，从而在所述基板的所述第1主面形成第1膜；后成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第1主面从应发生的放电中隔离且使所述第2主面曝露于所述放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使第2气体放电，从而在所述基板的所述第2主面形成第2膜；以及搬运机构，从所述前成膜室向所述后成膜室在不开放大气的状态下在搬运路径的大部分中在沿着所述第1主面的方向上搬运所述基板保持架。