[发明专利]用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备与方法

摘要

本发明涉及太阳能领域，尤其涉及用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备与方法。本发明采取如下技术方案：用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备，其特征在于，包含沉积室，沉积室内壁有传热管道，沉积室通过管道和外部连接，沉积室包含可开的一面门，沉积室内部有运动导轨以及压力传感器和温度传感器。采用如上技术方案的本发明，具有如下有益效果：镀膜效果好，节省加热能源，可以精确实现限位，使得整个装置运行稳定。

主权项

用于非晶硅电池沉积的等离子体气相沉积设备，其特征在于，包含沉积室(1)，沉积室(1)内壁有传热管道，沉积室(1)通过管道和外部连接，沉积室(1)包含可开的一面门，沉积室(1)内部有运动导轨(2)以及压力传感器(4)和温度传感器(5)。