[发明专利]一种柔性薄膜晶体管的绝缘层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性薄膜晶体管的绝缘层及其制备方法，所述柔性薄膜晶体管的绝缘层为在基板上形成的碳氢聚合物的薄膜，该绝缘层的制备方法采用氢气和乙炔气体作为原料，在室温和真空条件下的PECVD系统中于所述基板之上沉积形成碳氢聚合物的薄膜，完成柔性薄膜晶体管的绝缘层的制备。本发明所述绝缘层具有良好的绝缘性能以及较高的电击穿强度，在室温条件下的制备方法使其能够很好地与柔性基板兼容，可以采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺来加工，本发明能够用于柔性薄膜晶体管的制备，进一步促进了柔性电子的发展。

主权项

一种柔性薄膜晶体管的绝缘层，其特征在于，所述绝缘层为在基板上形成的碳氢聚合物的薄膜。