[发明专利]一种射频阻抗匹配器无效
| 申请号： | 201210391217.0 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102891660A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 孙小孟;李勇滔;李英杰;刘训春;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述射频阻抗匹配器包括第一可变空气电容、第二可变空气电容、电感和第三可变空气电容，第二可变空气电容和第三可变空气电容并联后与电感串联，再与第一可变空气电容并联。本发明提供的射频阻抗匹配器，能够对高品质因数Q值的负载进行精确的阻抗匹配，阻抗匹配电路结构简单，匹配过程方便快捷，实现了负载阻抗的纯阻性，满足了半导体工艺的制备要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 阻抗 配器 | ||
【主权项】：
一种射频阻抗匹配器，包括第一可变空气电容、第二可变空气电容、电感，其特征在于，还包括第三可变空气电容，所述第二可变空气电容和第三可变空气电容并联后与所述电感串联，再与所述第一可变空气电容并联。
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