[发明专利]一种氮氧传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及氧传感器技术领域，尤其是一种氮氧传感器及其制作方法。它包括一个带有台阶的U型感应主体和内部单独设置的棒状加热器。感应主体部分主要由内部带有台阶的U型氧化锆管和外部氧化锆薄层组成，两层氧化锆管体之间设置了第一测量腔、第二测量腔和参比空气腔；第一测量腔经过第一扩散障碍层与外界测量气氛相通，第二测量腔经过第二扩散障碍层与第一测量腔内的气氛相通，参比空气腔与外界完全隔绝形成独立腔体，内设参比空气电极。本发明提供的氮氧传感器可以同时检测尾气中的空燃比和氮氧化物含量，其结构简单，工作状态下温度分布均匀，而且测量精度高、稳定性好，具有很强抗热振性能，使用寿命长。

主权项

一种氮氧传感器，其特征是，它包括内部带有台阶的U型氧化锆管（1）、外部氧化锆薄层（2）、加热棒（3），所述内部U型氧化锆管（1）和外部氧化锆薄层（2）之间设置了第一测量腔（4）、第二测量腔（5）和参比空气腔（6），所述的第一测量腔（4）经过第一扩散障碍层（7）与外界测量气氛相通，第二测量腔（5）经过第二扩散障碍层（8）与第一测量腔（4）内的气氛相通，所述的参比空气腔（6）由隔离层（9）封闭起来与外界气氛隔离，内设参比空气电极（14），所述的第一测量腔（4）的外部氧化锆薄层（2）两侧分别设置第一泵氧单元负电极（10）和第二泵氧单元正电极（11），形成了第一泵氧单元，所述的第二测量腔（5）的内部U型氧化锆管（1）两侧分别设置第二泵氧单元负电极（12）和第二泵氧单元正电极（13），形成第二泵氧单元，所述的第一测量腔（4）内部电极第一泵氧单元负电极（10）与参比空气腔（6）内的参比空气电极（14）之间形成氧浓度测量单元，所述的内部U型氧化锆管（1）和外部氧化锆薄层（2）之间直接接触部分由氧化铝绝缘薄层（15）隔离开来，所述的U型氧化锆管（1）和加热棒（3）之间形成了参比空气通道（16）。