[发明专利]基于表面等离子体共振的光学加速度传感器有效
| 申请号： | 201210387547.2 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102890163A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 肖光宗;张斌;赵洪常;汪之国 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 湖南省国防科技工业局专利中心 43102 | 代理人： | 冯青 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及基于表面等离子体共振的光学加速度传感器。该加速度传感器包括表面等离子体共振折射率传感器和气体膜盒。利用气体膜盒作为第一级加速度敏感元件，将输入的加速度变化转化为新型气体膜盒内传感气体的折射率变化，通过表面等离子体共振折射率传感器测量出折射率的变化，该折射率变化与输入加速度的大小成正比。本发明将在生物、化学传感领域广泛应用的SPR传感技术与新型气体膜盒相结合，应用于加速度传感中，具有灵敏度高、结构简单等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 等离子体 共振 光学 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
基于表面等离子体共振的光学加速度传感器，包括SPR折射率传感器和气体膜盒，其特征在于，气体膜盒由圆筒、超薄石英片和质量块组成；质量块粘接在超薄石英片中心；超薄石英片粘接在圆筒的第一端面上；其中，SPR折射率传感器包括光源部分、光学耦合部分、信号检测与控制部分；光学耦合部分，包括棱镜、金属膜，金属膜镀在棱镜底面上，圆筒的第二端面粘接在棱镜底部；该加速度传感器利用气体膜盒作为第一级加速度敏感元件，当垂直于超薄石英片方向有加速度输入时，在质量块和超薄石英片的惯性力作用下，超薄石英片产生弹性形变，气体膜盒的体积增大或减小，与气体膜盒内传感气体的密度减小或增大，根据格拉德斯通－戴尔公式，折射率也相应减小或增大，再通过SPR折射率传感器测量出折射率的变化，该折射率的变化正比于输入加速度的大小。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科学技术大学，未经中国人民解放军国防科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210387547.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
