[发明专利]液体电容式倾斜微传感器有效
| 申请号： | 201210377858.0 | 申请日： | 2012-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN103712600A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 陈荣祥;陈政赐;陈柏廷 | 申请（专利权）人： | 硕英股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/18 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 陈波;文琦 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液体电容式倾斜微传感器，包括：一对差动电极，一共享电极，三者形成在一密闭空间内且实质上位于同一平面，并在该密闭空间中封入覆盖液体；其中，所述一对差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。本发明还公开了该传感器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 电容 倾斜 传感器 | ||
【主权项】：
一种液体电容式倾斜微传感器，包括：一对差动电极，一共享电极，该一对差动电极和该共享电极形成在密闭空间内，且实质上位于同一平面，并在该密闭空间中封入覆盖液体；其特征在于，该对差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。
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