[发明专利]液体电容式倾斜微传感器

权利要求书

1.一种液体电容式倾斜微传感器，包括：一对差动电极，一共享电极，该一对差动电极和该共享电极形成在密闭空间内，且实质上位于同一平面，并在该密闭空间中封入覆盖液体；其特征在于，该对差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。

2.如权利要求1的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该对差动电极分别形成半圆形的轮廓。

3.如权利要求1的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该对差动电极形成扇形的轮廓，且该传感器还包括形成在该同一平面上的多于一对的差动电极；该多对差动电极的面积可以相同或不同。

4.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于：还包括一读取电路，用以读取该对差动电极的各电极所产生的电容值。

5.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该对差动电极和/或该共享电极的表面至少一部分还包括润滑层。

6.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该共享电极形成在该差动电极的附近。

7.如权利要求6的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该差动电极分别包含形成在电极板边缘的多个缺口，且该共享电极包含伸入该缺口的多个突出部。

8.如权利要求7的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该差动电极的电极板是扇形的轮廓，且该多个缺口延伸到各差动电极板的扇形半径的一半长度以上。

9.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该覆盖液体是导电性液体与介电液体中的一种。

10.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该差动电极与该共享电极形成在一硅基板上。

11.如权利要求10的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于：还包括一读取电路，用以读取该差动电极的各电极所产生的电容值，且该读取电路形成在该差动电极与该共享电极的硅基板上。

12.如权利要求1至3中任意一项的液体电容式倾斜微传感器，其特征在于，该差动电极与该共享电极形成在一硅基板上的介电层上。

13.一种制造液体电容式倾斜微传感器之方法，包括如下步骤：

制备第一基板；

在该第一基板上形成至少一个金属层；

使该金属层形成至少一对形状近似且面积实质相同的第一及第二电极，以及一第三电极；

制备第二基板；

在该第二基板上形成材料层；

在该材料层中形成凹槽；

在该凹槽中加入覆盖液体；

将该第一基板覆盖于该第二基板上，使该第一、第二及第三电极进入该凹槽内；以及

结合该第一基板与该第二基板；

其特征在于，该对第一及第二电极分别形成圆形的一部分。

14.如权利要求13的方法，其特征在于，该对第一及第二电极分别形成实质上的半圆形轮廓。

15.如权利要求13的方法，其特征在于，该对第一及第二电极形成扇形轮廓，且该方法包括：在形成第一及第二电极同时，形成多个对电极的步骤。

16.如权利要求15的方法，其特征在于，该多个对电极互相间以及与该对第一及第二电极，面积相同或不同。

17.如权利要求13至15中任意一项的方法，其特征在于，该第一基板是硅基板，该第二基板是玻璃基板或塑料基板。

18.如权利要求13至15中任意一项的方法，其特征在于，该第三电极形成在该第三电极以外的电极板的附近。

19.如权利要求13至15中任意一项的方法，其特征在于，该第三电极以外的电极分别包含形成在电极板边缘的多个缺口，且该第三电极包含伸入该缺口的多个突出部。

20.如权利要求19的方法，其特征在于，该多个缺口可延伸到第一及或二极板的扇形或半圆半径的一半长度以上。

21.如权利要求13至15中任意一项的方法，其特征在于，所述覆盖液体是导电性液体或介电液体中的一种。