[发明专利]一种测试棒及其制备方法无效
申请号: | 201210352391.4 | 申请日: | 2012-09-20 |
公开(公告)号: | CN102910911A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 张涛;胡动力;钟德京;吕东 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/565;C04B35/622 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种测试棒,用于测量硅晶体熔化和生长速率,其特征在于,所述测试棒各组分及质量百分比为:氮化硅0%~100%,碳化硅0%~100%,硅粉0%~25%,烧结助剂0%~8%,所述氮化硅的纯度为90%~99.95%,所述碳化硅的纯度为90%~99.95%,所述硅粉的纯度为90%~99.9999999%。本发明还公开了该测试棒的制备方法。采用本发明的测试棒,克服了现有技术石英棒易变形,易与硅液粘连,易被硅液腐蚀的缺点,提高了抗腐蚀能力和测试精度,延长了测试棒的使用寿命,降低了因测试棒断裂而影响硅晶体品质,造成重大经济损失的概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种测试棒,用于硅料熔化或硅晶体生长的测量领域,其特征在于,所述测试棒各组分及质量百分比为:氮化硅0%~100%,碳化硅0%~100%,硅粉0%~25%,烧结助剂0%~8%,所述氮化硅的纯度为90%~99.95%,所述碳化硅的纯度为90%~99.95%,所述硅粉的纯度为90%~99.9999999%。
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