[发明专利]石墨烯光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯光探测器及其制备方法，其中，石墨烯光探测器包括：基板；基板上形成有第一金属电极图形；第一金属电极图形上形成有第二金属电极图形；且任两个相邻的第一金属电极中：一第一金属电极上形成有第二金属电极，另一第一金属电极上没有第二金属电极；第一金属电极图形和第二金属电极图形上形成有石墨烯，石墨烯的功函数介于第一金属电极的功函数和第二金属电极的功函数之间，石墨烯上还形成有金属接触层图形，各金属接触电极与第一金属电极和第二金属电极对应。本发明降低了器件制备过程中对石墨烯迁移率等特性的影响，提高所制备的探测器的性能，可形成良好的电极接触，增大光电感应的频率范围。

主权项

一种石墨烯光探测器，其特征在于，包括：基板；所述基板上形成有第一金属电极图形，所述第一金属电极图形包括间隔分布的二个或二个以上的第一金属电极；所述第一金属电极图形上形成有第二金属电极图形，所述第二金属电极图形包括间隔分布的一个或一个以上的第二金属电极；且任两个相邻的第一金属电极中：一第一金属电极上形成有第二金属电极，另一第一金属电极上没有第二金属电极；所述第一金属电极图形和所述第二金属电极图形上形成有石墨烯，所述石墨烯的功函数，介于所述第一金属电极的功函数和所述第二金属电极的功函数之间；所述石墨烯上还形成有金属接触层图形，所述金属接触层图形包括二个或二个以上的金属接触电极，各金属接触电极与第一金属电极和第二金属电极对应。