[发明专利]滑动部件及其表面加工方法有效
| 申请号： | 201210327926.2 | 申请日： | 2011-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102925901A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 佐藤明伸;铃木晃子;河野健司 | 申请（专利权）人： | 日本航空电子工业株式会社 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00;B32B3/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及滑动部件及其表面加工方法。所述滑动部件具有周期10nm~100nm、深度5nm~50nm的第一周期结构，周期100nm~1000nm、深度20nm~500nm的第二周期结构和周期1000nm~10000nm、深度100nm~3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构作为表面结构，其中所述至少两种周期结构中的一种形成在其它周期结构上。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 部件 及其 表面 加工 方法 | ||
【主权项】：
使用气体簇离子束加工滑动部件的表面的方法，包括从与所述滑动部件的滑动方向平行的方向将所述气体簇离子束辐射到滑动部件的表面的步骤，以形成滑动部件表面上的表面结构，所述表面结构为如下结构，其中：1)具有周期10nm~100nm、深度5nm~50nm的第一周期结构，周期100nm~1000nm、深度20nm~500nm的第二周期结构，和周期1000nm~10000nm、深度100nm~3000nm的第三周期结构中的至少两种周期结构，和2)所述至少两种周期结构中的一种形成在另一周期结构上。
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- 2015-06-24 - 2015-12-16 - C23F4/00
- 本实用新型属于材料表面处理技术领域，具体涉及一种离子束清洗刻蚀设备，包括用供气单元，以及电离室，所述供气单元通过气孔与电离室连通，所述气孔为多个沿基片长度方向间隔布置，电离室中段的气孔布设密度小于两端的气孔布设密度；本实用新型采用了补偿式气路设计两端气孔的密度大于中心气孔密度，使两端的气压大于中心位置的气压，更多的高能离子分布在两端的位置，以提高基片两端部位被离子撞击清洗的几率，有效地补偿了清洗速率不均，解决了中间快，两端慢的问题。
- 一种利用超短脉冲激光制备铝合金超疏水自清洁表面的方法-201510279045.1
- 彼得.班尼特;伍义刚;赵城;刘顿;陈列;翟中生;娄德元;杨奇彪;吴颖 - 湖北工业大学
- 2015-05-28 - 2015-09-30 - C23F4/00
- 本发明涉及一种利用超短脉冲激光制备铝合金超疏水自清洁表面的方法，属于金属基材表面改性技术领域。该方法首先将铝合金样品进行抛光预处理，然后分别利用去离子水和无水乙醇清洗样品表面，清洗干净后冷风吹干或晾干，再利用激光加工技术，采用超短脉冲激光调节好相关的工艺参数后对样品进行表面处理，在样品表面加工出无数的微结构，加工完成后，将经过加工后的样品放入电热干燥箱内烘烤，得到表面具有微米级的乳突状或多孔状结构的铝合金超疏水表面，该表面具备自清洁的功能和优异的耐摩擦和耐腐蚀性能。本发明的制备方法工艺简单，操作方便，效率高，能耗少，成本低，绿色环保，易于实现工业应用。
- 树脂与异质材料的复合体的制造方法-201310493062.6
- 刘咸柱;韩家伟;刘沙沙 - 富泰华工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
- 2013-10-18 - 2015-04-29 - C23F4/00
- 本发明涉及一种树脂与异质材料的复合体的制造方法，包括：首先，提供由异质材料制成的异质材料件，对该异质材料件进行脱脂除油清洗。然后，利用纳米压印在异质材料件表面形成具有多个定位孔的光致抗蚀剂层，再利用电浆蚀刻于异质材料件表面蚀刻出多个微孔，同时对该光致抗蚀剂层进行蚀刻并将其移除。接着，将异质材料件置于一成型模具中加热，再将树脂加热并加压注塑与异质材料件的表面接触，树脂侵入到异质材料件表面的微孔中以与异质材料件结合。该树脂与异质材料的复合体的制造方法既环保又适合量产。
- 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法-201410788477.0
- 王达望;李淑青;马国佳;孙刚 - 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所
- 2014-12-17 - 2015-04-08 - C23F4/00
- 本发明提供了一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法。该制备方法包括：对钛合金样品分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到表面干净的钛合金样品；对表面干净的钛合金样品的表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到具有超疏水微纳结构表面的钛合金样品；其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为100μJ-800μJ，脉冲宽度为100fs-500fs，中心波长为500nm-1000nm，重复频率为500Hz-2kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为0.5μm-300μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
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