[发明专利]搬运机器人和基板处理设备有效
| 申请号： | 201210321770.7 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103009382A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 古市昌稔 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | B25J9/06 | 分类号： | B25J9/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种搬运机器人和基板处理设备。该搬运机器人包括：臂单元，该臂单元具有能够保持其中一个被搬运物体的手部；安装至安装框架的基座单元，该基座单元以可水平旋转的方式支撑臂单元；附装构件，该附装构件用于将基座单元附装至安装框架；以及升降机构，该升降机构布置在基座单元内并设置有联接至臂单元的升降构件。该升降机构被构造成：通过使升降构件沿着竖直轴上下运动，使臂单元在限定于基座单元上方的臂单元上下运动范围内上下运动。在基座单元的延伸规定高度的部分嵌入在安装框架的基座收容凹部中的状态下，基座单元固定至安装框架，所述规定高度是从基座单元的底壁到附装构件的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 机器 人和 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种搬运机器人，该搬运机器人包括：臂单元，该臂单元具有能够保持其中一个被搬运物体的手部；安装至安装框架的基座单元，该基座单元以可水平旋转的方式支撑所述臂单元；附装构件，该附装构件被构造成将所述基座单元附装至所述安装框架；以及升降机构，该升降机构布置在所述基座单元内并设置有联接至所述臂单元的升降构件，该升降机构被构造成：通过使所述升降构件沿着竖立地安装在所述基座单元内的竖直轴上下运动，使所述臂单元在限定于所述基座单元上方的臂单元上下运动范围内上下运动；其中，在所述基座单元的延伸规定高度的部分嵌入在所述安装框架的基座收容凹部中的状态下，所述基座单元固定至所述安装框架，所述规定高度是从该基座单元的底壁到所述附装构件的高度。
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