[发明专利]用于在花键轴上形成类金刚石碳膜的方法以及热阴极潘宁电离计型等离子化学气相沉积装置

摘要

多个花键轴(10)绕柱状等离子体(70a)布置，并且多个花键轴(10)在真空室(60)内沿柱状等离子体(70a)延伸的方向同轴地对准。多个同轴地对准的花键轴(10)定位为在相应的阳花键部(16)之间形成轴向间隙。多个阳花键部(16)的轴向间隙定位在柱状等离子体(70a)的沿柱状等离子体(70a)延伸的方向的中心处。

主权项

一种用于通过热阴极潘宁电离计型等离子化学气相沉积装置(50)在花键轴(1)的阳花键部(16)上形成类金刚石碳膜(16c)的方法，其中，所述热阴极潘宁电离计型等离子化学气相沉积装置(50)包括：i)真空室(60)，所述真空室(60)容纳所述花键轴(1)；ii)等离子枪(80)；iii)反射电极(91)，所述反射电极(91)布置在所述真空室(60)内；iv)第一线圈(92)，所述第一线圈(92)绕所述等离子枪(80)布置；v)第二线圈(93)，所述第二线圈(93)布置在反射电极(91)侧，所述第二线圈(93)面对所述第一线圈(92)；vi)热阴极潘宁电离计型等离子源(70)，所述热阴极潘宁电离计型等离子源(70)在所述真空室(60)中形成柱状等离子体(70a)，该柱状等离子体(70a)具有凸出中心部；和vii)材料气体给送部(120)，所述材料气体给送部(120)向所述真空室(60)供给材料气体，所述材料气体用作用于类金刚石碳膜(16c)的材料，所述方法的特征在于包括，在所述真空室(60)中绕所述柱状等离子体(70a)布置多个所述花键轴(1)；沿所述柱状等离子体(70a)延伸的方向同轴地对准多个所述花键轴(1)；将多个同轴地对准的所述花键轴(1)布置为在相应的所述阳花键部(16)之间形成轴向间隙；以及将多个所述阳花键部(16)的所述轴向间隙定位在所述柱状等离子体的沿所述柱状等离子体(70a)延伸的方向的中心处。