[发明专利]氮化钽片式薄膜电阻器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210304258.1 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102800448A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 刘剑林;严勇;罗向阳;朱沙;杨舰;张弦;史天柯;刘金鑫;李吉云;韩玉成 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团云科电子有限公司 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;H01C17/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 550000 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化钽片式薄膜电阻器，包括绝缘基板，分别设置在绝缘基板表面和背面的两块表电极、两块背电极，设置在绝缘基板两端与表电极和背电极连接的端电极，表电极、背电极和端电极表面覆盖有中间电极，中间电极表面覆盖有外部电极，设置在两块表电极之间与表电极连接的电阻层，电阻层表面覆盖有绝缘包封层；所述电阻层是氮化钽薄膜;本发明的氮化钽片式薄膜电阻器具有精度高、电阻温度系数小、耐潮、稳定性高及高频性能好等特点，由于氮化钽薄膜比其他薄膜产品相比具有更高的稳定性、更低的电阻温度系数、可以在更严酷的自然条件下应用等优点，所以大功率的氮化钽薄膜电阻可以带来更高的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 钽片式 薄膜 电阻器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化钽片式薄膜电阻器，包括绝缘基板（1），分别设置在绝缘基板（1）表面和背面的两块表电极（2）、两块背电极（3），设置在绝缘基板（1）两端与表电极和背电极连接的端电极（4），表电极（2）、背电极（3）和端电极（4）表面覆盖有中间电极（7），中间电极（7）表面覆盖有外部电极（8），设置在两块表电极（2）之间与表电极（2）连接的电阻层（5），电阻层（5）表面覆盖有绝缘包封层（6）；其特征在于：所述电阻层（5）是氮化钽薄膜。
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