[发明专利]光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置无效
| 申请号： | 201210302001.2 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102841055A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 胡国行;赵元安;李大伟;刘晓凤;柯立公 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置，应用Nd:YAG脉冲激光辐射光学元件引起元件体内损伤，采用HeNe连续激光照亮体内测试区域，设计大景深、高分辨率的成像装置将测试区域成像在探测器上，并从侧面监测体内区域从而削弱表面散射光的影响，对比Nd:YAG激光辐射前后探测区域图像的变化判断损伤是否产生。同时为了避免因样品移动带来的光程变化，采用自动化控制技术整体移动损伤探测装置补偿光程变化，消除离焦现象，提高损伤探测的准确性。该探测方法可在线观测体内损伤的产生和发展过程，适用于各类光学元件体内损伤的在线监测，且灵敏度和可靠性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 体内 激光 损伤 在线 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件体内激光损伤在线探测方法，应用脉冲激光器发出的激光辐照光学元件体内，观测光学元件体内激光辐照区域的图像变化判断损伤是否产生，其特征在于：所述的脉冲激光器是Nd：YAG脉冲激光器，采用HeNe连续激光照亮光学元件体内激光辐照区域，将大景深、高分辨率的成像装置从正侧面将光学元件体内激光辐照区域成像在探测器上，通过计算机控制损伤在线监测系统和待测光学元件的同步移动，以消除待测光学元件移动带来的离焦现象。
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