[发明专利]光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置

权利要求书

1.一种光学元件体内激光损伤在线探测方法，应用脉冲激光器发出的激光辐照光学元件体内，观测光学元件体内激光辐照区域的图像变化判断损伤是否产生，其特征在于：所述的脉冲激光器是Nd：YAG脉冲激光器，采用HeNe连续激光照亮光学元件体内激光辐照区域，将大景深、高分辨率的成像装置从正侧面将光学元件体内激光辐照区域成像在探测器上，通过计算机控制损伤在线监测系统和待测光学元件的同步移动，以消除待测光学元件移动带来的离焦现象。

2.实施权利要求1所述的光学元件体内激光损伤探测方法的装置，其特征在于该装置包含HeNe连续激光器（1），沿该HeNe连续激光器（1）的输出光方向依次是双色镜（3）、聚焦透镜（4）和待测光学元件（5），所述的双色镜（3）与光路成45°，在所述的双色镜（3）的45°方向设置Nd:YAG激光器，该Nd:YAG激光器发出的激光经所述的双色镜（3）反射后与所述的HeNe连续激光器（1）输出的激光同光路经所述的聚焦透镜（4）照射在待测光学元件（5）体内上，所述的待测光学元件（5）置于样品平移台（9）上，在所述的待测光学元件（5）的侧方向是探测装置移动平台（10），在该探测装置移动平台（10）上装有成像透镜组（6）和CCD探测器（7），该CCD探测器（7）的输出端与计算机（8）的输入端相连，该装置的光路是，Nd:YAG激光器（2）发出脉冲激光经双色镜（3）反射后由聚焦透镜（4）聚焦在待测光学元件（5）的体内构成一个Nd:YAG激光照射区域；由HeNe激光器（1）发出的连续的HeNe激光透过双色镜（3）与Nd:YAG激光相同的光路中照亮被Nd:YAG激光照射区域；所述的HeNe激光经探测区域的散射光通过正侧面的成像透镜组（6）收集并成像在CCD探测器（7）上，CCD探测器（7）收集的待测光学元件（5）的损伤数据输入所述的计算机（8），该计算机对损伤数据进行处理；

所述的计算机（8）经第一运动控制卡（13）控制第一电机驱动器（14）驱动第一步进电机（15）带动所述的样品移动平台（9）运动，使所述的待测光学元件（5）按需求的轨迹运动，所述的计算机（8）经第二运动控制卡（16）控制第二电机驱动器（17）驱动第二步进电机（18）带动所述的探测装置移动平台（10）运动，使所述的成像透镜组（6）和CCD探测器（7）整体运动，与所述的待测光学元件（5）的运动相配合，以消除离焦现象。

3.根据权利要求2所述的光学元件体内激光损伤探测装置，其特征在于所述的成像透镜组（6）为大景深、高分辨率的成像透镜组。